MOS积体电路又分为PMOS(P-channel Metal Oxide Semiconductor，P沟道金属氧化物半导体)、NMOS(N-channel Metal Oxide Semiconductor，N沟道金属氧化物半导体)和CMOS(Complement Metal Oxide Semiconductor，複合互补金属氧化物半导体)等类型。

MOS电路中套用最广泛的为CMOS电路，CMOS数字电路中，套用最广泛的为4000、4500系列，它不但适用于通用逻辑电路的设计，而且综合性能也很好，它与TTL电路一起成为数字积体电路中两大主流产品。CMOS数字积体电路电路主要分为4000（4500系列）系列、54HC/74HC系列、54HCT/74HCT系列等，实际上这三大系列之间的引脚功能、排列顺序是相同的，只是某些参数不同而已。例如，74HC4017与CD4017为功能相同、引脚排列相同的电路，前者的工作速度高，工作电源电压低。4000系列中目前最常用的是B系列，它採用了硅栅工艺和双缓冲输出结构。

Bi-CMOS是双极型CMOS（Bipolar-CMOS）电路的简称，这种门电路的特点是逻辑部分採用CMOS结构，输出级採用双极型三极体，因此兼有CMOS电路的低功耗和双极型电路输出阻抗低的优点。